Раванди тозакунии теллурии 7N технологияҳои тозакунии минтақавӣ ва кристаллизатсияи самтиро муттаҳид мекунад. Тафсилоти раванд ва параметрҳои асосии он дар зер оварда шудаанд:
1. Раванди тозакунии минтақаҳо
Тарроҳии таҷҳизот
Қаиқҳои обшавии ҳалқавии бисёрқабата: Диаметри онҳо 300–500 мм, баландии онҳо 50–80 мм, аз кварс ё графити тозагии баланд сохта шудааст.
Системаи гармидиҳӣ: Кабелҳои нимдоираи муқовиматӣ бо дақиқии назорати ҳарорат ±0.5°C ва ҳарорати максималии корӣ 850°C.
Параметрҳои асосӣ
Вакуум: ≤1×10⁻³ Па дар тамоми қисмҳо барои пешгирии оксидшавӣ ва олудашавӣ.
Суръати ҳаракат дар минтақа: 2–5 мм/соат (гардиши яктарафа тавассути меҳвари гардонанда).
Градиенти ҳарорат: 725±5°C дар пеши минтақаи гудохташуда, дар канори ақиб то <500°C хунук мешавад.
Гузаришҳо: 10-15 давра; самаранокии тозакунӣ >99.9% барои ифлосиҳо бо коэффитсиентҳои ҷудошавӣ <0.1 (масалан, Cu, Pb).
2. Раванди кристаллизатсияи самтӣ
Тайёр кардани гудохта
Мавод: теллури 5N, ки тавассути тозакунии минтақавӣ тоза карда шудааст.
Шароити обшавӣ: Дар зери гази инертии Ar (≥99.999% покӣ) дар ҳарорати 500–520°C бо истифода аз гармкунии индуксионии басомади баланд гудохта мешавад.
Муҳофизат аз гудохта: Пӯшиши графити тозагии баланд барои пешгирии бухоршавӣ; чуқурии ҳавзи гудохта дар 80-120 мм нигоҳ дошта мешавад.
Назорати кристаллизатсия
Суръати афзоиш: 1–3 мм/соат бо градиенти амудии ҳарорат 30–50°C/см.
Системаи хунуккунӣ: Пойгоҳи мисии бо об хунукшаванда барои хунуккунии маҷбурии поёнӣ; хунуккунии радиатсионӣ дар боло.
Ҷудошавии ифлосӣ: Fe, Ni ва дигар ифлосӣ пас аз 3-5 давраи дубора гудохташавӣ дар сарҳадҳои донаҳо ғанӣ мегарданд ва консентратсияро то сатҳи ppb коҳиш медиҳанд.
3. Метрикаҳои назорати сифат
Арзиши стандартии истинод ба параметр
Покии ниҳоӣ ≥99.99999% (7N)
Ифлосҳои умумии металлӣ ≤0.1 ppm
Миқдори оксиген ≤5 ppm
Инҳирофи самти кристалл ≤2°
Муқовимат (300 К) 0.1–0.3 Ω·см
Афзалиятҳои раванд
Миқёспазирӣ: Қаиқҳои обшавии ҳалқавии бисёрқабата иқтидори партияро дар муқоиса бо тарҳҳои анъанавӣ 3-5 маротиба зиёд мекунанд.
Самаранокӣ: Назорати дақиқи вакуум ва гармӣ имкон медиҳад, ки сатҳи баланди тозакунии ифлосӣ ба даст оварда шавад.
Сифати кристаллӣ: Суръати афзоиши хеле суст (<3 мм/соат) зичии пасти дислокатсия ва якпорчагии монокристаллиро таъмин мекунад.
Ин теллурии такмилёфтаи 7N барои барномаҳои пешрафта, аз ҷумла детекторҳои инфрасурх, батареяҳои офтобии плёнкаи тунуки CdTe ва субстратҳои нимноқилӣ, муҳим аст.
Адабиёт:
маълумоти таҷрибавиро аз таҳқиқоти аз ҷониби ҳамсолон баррасӣшуда оид ба тозакунии теллур нишон диҳед.
Вақти нашр: 24 марти соли 2025